- Подготовительные операции перед физико-термическими процессами.
- Операции травления.
- Гальваническая и химическая металлизация.
- Работа с фоторезистами.
- Анодирование алюминиевых оснований.
- Анодирование тонких пленок.
|
Установки комбинируются из технологических модулей для выполнения операций:
- DHF-OFR
- BOE-OFR
- SC-1 (ПАР)-QDR
- SC-2 (ПСР)-QDR
- SPM (КАРО)-HQDR
- H3PO4-HQDR
- HF/HNO3-OFR
- Dryer «Марангони»
|
- Установки для травления кварцевой оснастки физико-термического оборудования.
- Установки приготовления технологических растворов.
- Станции подачи реагентов.
- Сервисное оборудование для циркуляции, фильтрации, нагрева/охлаждения растворов.
|
