Оборудование для нанесения фоторезистов.

Нанесение сухих фоторезистов. Ламинаторы.
Сухие пленочные фоторезисты наносятся с одной или двух сторон заготовки при их ламинировании прокаткой через греющие валки под давлением. При этом температура валков, скорость протяжки и усилие прижима регулируются.

Нанесение жидких фоторезистов.
Нанесение жидких фоторезистов применительно к процессам изготовления фасонных деталей с применением фотохимического травления осуществляется на дискретные заготовки или в ленте методом вытягивания материала из ванны и сушкой фоторезиста при прохождения через зоны нагрева камеры сушки.

Установка нанесения пленочного фоторезиста БНПФ – 360.
Диапазон толщин заготовки – 0,05 – 3,2 мм
Максимальный размер заготовки – 400х300 мм
Максимальная скорость ламинирования 1600 мм/мин
Усилие прижима – Пневматическое
Максимальная температура ламинирования150°C
Электропитание 220В/50Гц
Давление сжатого воздуха, не менее 0,6 Мпа
Максимально потребляемая мощность700 Вт
Габаритные размеры (с тумбой для установки)
ДхШхВ – 600 х 750 х 1250мм

Установка нанесения жидких фоторезистов КОНТУР – ФН.300
Диапазон толщин заготовки – 0,05 – 3,2 мм
Сменная ванна для фоторезиста – 5 л.
Максимальный размер заготовки – 300х250 мм
Рабочие скорости – 100 – 1000 мм/мин
Рабочие толщины фоторезиста – 2 – 5 мкм
Две зоны в камере сушки фоторезиста
Электропитание 380В/50Гц, . 5,5кВт
Габаритные размеры(с тумбой для установки)
ДхШхВ – 900х700х1900/2200мм
Исполнение сдвоенной установки с двумя позициями загрузки, двумя ваннами и камерами сушки.

Экспонирование фоторезистивной маски.

Экспонирование – воздействие на пленку фоторезиста актиничным, ультрафиолетовым светом осуществляется различными методами. Нами применяется печать скрытого изображения топологии изделия через маску фотошаблона, прижатого к заготовке (контактная печать).
Установка экспонирования КОНТУР – EL.300

  • Максимальный размер обрабатываемых заготовок 400х300мм;
  • Количество одновременно обрабатываемых заготовок максимального размера – 1 шт;
  • Вакуумная рама для заготовки и пакета пленочных фотошаблонов, 1 шт;
  • Безмаслянный вакуумный насос, наличие;
  • Источник УФ – нижний и верхний блоки LEDUV светодиодов, длина волны 365 нM;
  • Воздушное охлаждение вакуумной рамы;
  • Время экспонирования – программируемое;
  • Масса установки — не более 70 кг.
  • Исполнение — настольное;
  • Габаритные размеры (ДхШхВ) – 800х750х400 мм.
  • Электропитание установки – от двухпроводной с нулевым проводом сети переменного тока 220В/50Гц, 1 кВт

Оборудование для струйной химической обработки. Проявление. Травление.

Установки струйного травления. КОНТУР – ХОТ.
Применяется оборудование, в котором заложены различные принципы обработки заготовки. Заготовка при струйной обработке может располагаться в горизонтальной или в вертикальной плоскостях. Для процесса сквозного, глубокого фотохимического травления предпочтительно вертикальное расположение заготовки при обработке. При этом обеспечиваются одинаковые условия для разных сторон заготовки и отсутствие застойных зон («лужи»). АО «АБАИР» разрабатывает и производит различные модификации установок струйной обработки с вертикальным расположением заготовок при обработке. Произведено оборудование, отличающееся способом перемещения заготовки по рабочим позициям (ручной или автоматический), средствами контроля процесса травления для различных травильных систем, материалами исполнения камер и баков в зависимости от температурных режимов и свойств травильного раствора.

Установка струйного проявления. КОНТУР – ПФ. 1. 400.

Установка предназначена для проявления пленочных фоторезистов в водных щелочных растворах.
Принцип двухсторонней обработки:

  • струйная подача раствора проявления на вертикально расположенную заготовку при вращающихся коллекторах форсунок
  • струйная подача сетевой промывной воды через клапаны, от педали включения.

Максимальный размер заготовки – 400 х 400 мм. Толщина заготовки уточняется при согласовании.
Материал бака и камеры струйной обработки – полипропилен.
Материал рабочей части насоса – полипропилен.
Рабочий объем циркуляционного бака – 50 л.(возможны изменения по согласованию).
Термостабилизация раствора проявления.
Таймер ХХ мин ХХ сек.