Назначение оборудования — для размерного травления плоских металлических заготовок через маску фоторезиста. Оборудование применимо в процессах изготовления выводных рамок корпусных приборов, сеток различного назначения, пружин и подобных изделий. Модификации оборудования позволяют обрабатывать большинство применяемых в микроэлектронике металлов и их сплавов. Оборудование компактно и предназначено для выпуска сигнальных партий изделий и для мелкосерийного производства.
Максимальный размер заготовки — 300х250мм.
Нанесение пленочного фоторезиста.
Ламинатор БНПФ-360.
- Рабочая ширина — 360мм.
- Греющие ламинирующие валки с регулируемой температурой.
- Многоступечатый механический прижим.
- Регулируемая скорость протяжки.
Нанесение жидкого фоторезиста.
КОНТУР — ФН300
- Нанесение жидких фоторезистов методом окунания
- Объем рабочей ванны с фоторезистом — 5 л. Количество ванн — 2
- Программируемая скорость подъема из ванны
- Две последовательные зоны сушки для минимального стекания фоторезиста.
Экспонирование
В зависимости от технической задачи применяются установки различных производителей.
Фотохимическое травление.
КОНТУР — ХОТ300
- Позиции загрузки и выгрузки
- Камера струйного травления и две камеры струйной промывки
- Движение кольцевой кассеты через камеры – автоматическое
- Струйное двухстороннее травление при одновременном вращении и покачивании кассеты
- Автоматическая корректировка времени травления при изменении активности травителя. Система оптического контроля
- Термостабилизация травильного раствора (нагрев/охлаждение)
Ротационное проявление.
КОНТУР — ФП300
- Струйное проявление при вращении и покачивании кассеты с заготовкой.
- Термостабилизация проявляющего раствора.
- Таймер.
Проявление и снятие фоторезиста в объеме раствора.
КОНТУР — СПФ300
- Ванна обработки фоторезиста с циркуляционным баком, системой нагрева раствора, механизмом качания
- Рабочее место для ручной обработки и монтажа заготовок в кассеты
- Камера конвекционной сушки с терморегулированием