Вспомогательное оборудование.

 Установки травления оснастки физико-термического оборудования.

Оборудование предназначено для межоперационной химической обработки (травления) малогабаритной и длинномерной оснастки физико-термического оборудования используемой в производстве интегральных схем (оснастка — реакторы, контейнеры, лодочки, чехлы и т.д.)

В установках для травления малогабаритной оснастки обработка проводится переносом технологической корзины по технологическим ваннам. Ванны оснащены системами терморегулирования, барботерами, таймерами.

В установках для травления крупногабаритной оснастки обработка проводится в цилиндрических травильных камерах при их вращении. Рабочая длина камер 2500мм, рабочие диаметры — 280, 200 и 140мм.

В составе оборудования — накопительный бак для травильного раствора. Изделия обрабатываются по циклу: загрузка в камеру — подача травильного раствора — травление при вращении камеры — слив травителя в бак — подача промывной воды — промывка при вращении — слив воды — выгрузка.